Похожие работы на «Субмикронная литография»

Анализ стихотворения И.А. Бунин Забытый фонтан
Литература, Анализ стихотворения И.А. Бунин Забытый фонтан , Рефераты ... тельность ЭЛ-экспонирования. | Сечение луча (круглое, квадратное, переменной формы) | | Плотность тока луча и его диаметр | | Чувствительность резиста ...
... ЭЛ- экспонирования (особенно с кварцевым шаблоном) является нагрев резиста, вызывающий искажение изображения, газовыделение из резиста, загрязняющее ...


Литография высокого разрешения в технологии полупроводников
Технология, Литография высокого разрешения в технологии полупроводников, ... тельность ЭЛ-экспонирования. | Сечение луча (круглое, квадратное, переменной формы) | | Плотность тока луча и его диаметр | | Чувствительность резиста ...
... ЭЛ- экспонирования (особенно с кварцевым шаблоном) является нагрев резиста, вызывающий искажение изображения, газовыделение из резиста, загрязняющее ...


Субмикронная литография
Технология, Субмикронная литография, ... тельность ЭЛ-экспонирования. | Сечение луча (круглое, квадратное, переменной формы) | | Плотность тока луча и его диаметр | | Чувствительность резиста ...
... ЭЛ- экспонирования (особенно с кварцевым шаблоном) является нагрев резиста, вызывающий искажение изображения, газовыделение из резиста, загрязняющее ...


История развития электроники
Радиоэлектроника, История развития электроники , Лекции ... с помощью управляющего электрода (11) и двух ускоряющих анодов (5 и 6). Фокусировка луча осуществляется с помощью фокусирующей катушки (3). Сетка (7) ...
Электронный луч, попадая на поверхность мишени, выбивает вторичные электроны, число которых больше, чем первичных, потому поверхность мишени, ...


Приборы с акустическим переносом заряда [нестрогое соответствие]
Физика, Приборы с акустическим переносом заряда, Диссертация ... при прохождении слоя толщиной x: уменьшается за счет электронного поглощения на величину aeIx, передает в среду механический импульс , приходящийся на ...
... получения рабочего шаблона применяется при невысоких требованиях к изображению: минимальный размер элемента - 5-7 мкм, точность положения элемента - 2 ...


Движение электронов - отклоняющие системы ЭЛТ [нестрогое соответствие]
Радиоэлектроника, Движение электронов - отклоняющие системы ЭЛТ, Реферат ... экране-h c) Чувствительность по отклонению-? [pic] 3. Устройства приборов, использующих физический эффект Электронно-лучевыми приборами называют такие ...
Такая идеальная электростатическая система образуется двумя изогнутыми пластинами, причем на входе луча расстояние между пластинами может быть равным ...


Полупроводниковые пластины. Методы их получения [нестрогое соответствие]
Технология, Полупроводниковые пластины. Методы их получения, ... относят предварительную подготовку разделение его на пластины, шлифование пластины, свободным или связанным абразивом, формирование фасок, химческое ...
... и связанным абразивом Основным назначением шлифования полупроводниковых пластин является исправление погрешностей их геометрической формы после резки ...


Автоматизированные системы обработки информации и управления [нестрогое соответствие]
Программирование и комп-ры, Автоматизированные системы обработки информации и управления, Диссертация ... индикатор не светится - ручное экспонирование); o Индикатор замены картриджа (индикатор мигает - необходимо заменить картридж); o Индикатор ...
... электроды: модулятор, регулирующий интенсивность пучка электронов и связанную с ней яркость изображения, и отклоняющая система, позволяющая изменить ...


Дифракция электронов. Электронный микроскоп [нестрогое соответствие]
Физика, Дифракция электронов. Электронный микроскоп , Рефераты ... можно управлять с помощью электрических и магнитных полей, то электронная оптика позволяет нам заранее рассчитывать такие системы формирования этих ...
... растровых электронных микроскопов определяется диаметром электронного зонда и в случае получения изображения в электронных лучах составляет (300А( ...


Измерение параметров лазеров [нестрогое соответствие]
Технология, Измерение параметров лазеров, ... Для измерения энергетических параметров лазерного излучения могут использоваться самые разнообразные методы, основанные на различных физических и ...
Из решения уравнения движения крутильного маятника можно получить значение угла поворота ( приемной пластины 3 при воздействии на нее непрерывного ...